FS-70 系列

378 系列 — 半导体检测用显微镜单元

• 带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金

属表面、半导体、液晶基板、树脂等。

• 多种显微镜镜体通常用作适用于专业器械的

OEM (原厂委制) 产品，如那些利用YAG (近红

外、可见、近紫外或紫外) 激光* 对半导体晶

片进行检测和修补的设备。

* 不保证激光系统产品的性能和安全性。

• 应用：切割、修整、校正、 给半导体电路做

标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色

滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观

察剖面图以便探针分析半导体故障。

• 可用于红外光学系统*。

应用：晶体硅的内部观察；红外光谱特征

分析。

* 需要红外光源和红外摄像机。

• 支持BF (明视场)、DF (暗视场)、偏振光及微

分干涉对比(DIC) 的型号(产品) 可用。

• 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学

系统上的标准配件。

• 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显

微镜下的高可操作性。

规格

型号FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH

货号378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3

型号FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS

货号378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4

聚焦调节使用同心粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)对焦轮(右/左)实现50mm行程范围